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[1]庞抒见,浦海峰,张 群. 溶液法制备氧化铝介质层的非晶铟锌氧化物薄膜晶体管[J].复旦学报(自然科学版),2014,06:758-763.
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 溶液法制备氧化铝介质层的非晶铟锌氧化物薄膜晶体管(PDF)

《复旦学报》(自然科学版)[ISSN:/CN:]

期数:
2014年06
页码:
758-763
栏目:
出版日期:
2014-12-09

文章信息/Info

Title:
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作者:
 庞抒见浦海峰
Author(s):
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关键词:
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Keywords:
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分类号:
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DOI:
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文献标识码:
A
摘要:
 采用旋涂法制备了氧化铝栅介质层薄膜。通过XRDAFM分析表征了薄膜的结晶性和表面平整性。分光光度计测试表明薄膜在可见光范围的平均透射率大于85%。采用MIM结构研究其漏电流密度,在电场强度为1 MV/cm时仅为3×10-9 A/cm2,表明可以用作栅介质层。以旋涂法涂覆的a-IZO薄膜为沟道层、旋涂法涂覆的氧化铝为介质层,制备了底栅结构的氧化物薄膜晶体管。测试表明该薄膜晶体管工作在n型沟道增强型模式,器件场效应迁移率为1.4 cm2/V?s,电流开关比约为105,阈值电压为2.2 V,显示出相对较好的器件性能。
Abstract:

参考文献/References

备注/Memo

备注/Memo:
更新日期/Last Update: 2014-12-10